
ในอุปกรณ์จัดการเวเฟอร์ ลิเนียร์ไกด์จะใช้เพื่อวางตําแหน่งและถ่ายโอนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อย่างแม่นยําผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิต ความแม่นยําที่จําเป็นในอุปกรณ์นี้สูง โดยความคลาดเคลื่อนมักจะอยู่ในช่วงย่อยไมครอน
ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ยังใช้รางเชิงเส้นเพื่อให้การเคลื่อนย้ายเครื่องมือตรวจสอบที่แม่นยําและราบรื่นทําให้สามารถวัดและตรวจจับข้อบกพร่องบนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยํา

อุปกรณ์โฟโตลิโธกราฟีซึ่งใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อกําหนดรูปแบบพื้นผิวของเวเฟอร์ยังต้องการไกด์เชิงเส้นที่มีความแม่นยําสูงเพื่อให้แน่ใจว่าการวางตําแหน่งของเวเฟอร์และการเปิดรับแสงของลวดลายนั้นถูกต้อง
ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ไกด์เชิงเส้นถูกนํามาใช้เพื่อความแม่นยําที่ยอดเยี่ยม ความแข็งสูง และแรงเสียดทานต่ํา คุณสมบัติเหล่านี้ช่วยให้อุปกรณ์สามารถทํางานได้อย่างแม่นยําและความสามารถในการทําซ้ําสูงซึ่งนําไปสู่ผลลัพธ์การผลิตคุณภาพสูง ด้วยความต้องการที่เพิ่มขึ้นสําหรับการย่อขนาดและประสิทธิภาพสูงของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ความต้องการรางเชิงเส้นในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์คาดว่าจะเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง
